Logo Quorum Technologies Logo Techoorg Linda Logo PHI Logo Pyser Logo spi Logo Zeta Logo Quantifoil

Domů

Ochrana osobních údajů

Novinky

Kontakty

Poptávkový formulář

 

Logo Quorum Tech

 

Zařízení pro povrchovou úpravu vzorků pro SEM/TEM Quorum Technologies


Naprašovačky kovů a uhlíku pro SEM/TEM

 

Naprašování je standardní metoda přípravy nevodivých nebo špatně vodivých vzorků pro pozorování v rastrovacím elektronovém mikroskopu (SEM). Nabízíme levné systémy odčerpávané rotačním čerpadlem pro depozici neoxidujících kovů - jako je zlato, platina - a také modely odčerpávané turbomolekulárním čerpadlem, které jsou vhodné pro oxidující i neoxidující kovy - jako je chrom. Pro vzorky s velikostí až 200 mm jsou k dispozici modely s velkou komorou, a všechny naprašovačky je možno doplnit nástavci pro odpařování uhlíku. Dodáváme rovněž naprašovací terčíky (targety) z různých materiálů.

Přístrojové vybavení:

 

  • Q150V PLUS
  • SC7620
  • Q150R PLUS
  • Q150T PLUS
  • Q300T D PLUS
  • Q300T T PLUS

 

Q150V Plus - pro ultra-jemné naprašování

 

Q150V Plus

Q150V Plus je optimalizovaná pro vysokovakuové aplikace s dosažitelnou hodnotou vakua 1x10-6 mbar. Spolu s široko rozsahovým měřákem Penning/Pirani lze nanášet oxidující kovy s velmi jemným zrněním, které je vhodné pro vysokorozlišovací zobrazení. Nižší základní tlak odstaňuje kyslík, dusík a vodní páru z komory, což zabraňuje chemickým reakcím během procesu naprašování, což by jinak vedlo k nečistotám nebo defektům naprášeného filmu. Podobně nižší rozptyl dává čistší amorfní uhlíkové filmy s vysokou hustotou.

Q150V Plus je k dispozici ve třech verzích:

  • Q150V S Plus – automatická naprašovačka pro neoxidující kovy s ultra jemnou zrnitostí. Terčíky jsou: Cr, Ir a všechny vzácné kovy
  • Q150V E Plus – automatická naprašovačka z uhlíkové tyčinky/vlákna pro TEM aplikace. Pro pouhlíkování TEM sítěk.
  • Q150V ES Plus – kombinovaná naprašovačka kovů a uhlíku. Výměna hlav během několika sekund.
    Volitelně je k dispozici možnost odpařování kovů/čištění clon.

 

  • Popis
  • Volitelné stolky

Klíčové vlastnosti

  • Dosažitelné vakuum 1 × 10-6 mbar
  • Nový barevný LED indikátor stavu
  • 16GB paměť dokáže uložit více než 1000 postupů
  • Nový software třídí postupy (recepty) pro jednotlivého uživatele podle nedávného použití
  • Lze nastavit profily pro více uživatelů jednoho zařízení
  • Nový dotykový kapacitní displej

Doporučené aplikace pro Q150V Plus:

  • Ultra-vysokorozlišovací zvětšení SEM
  • Ochranné platinové vrstvy pro FIB
  • Výzkum a vývoj koroze, lomu a opotřebení ochranných vrstev
  • Ochranné vrstvy lékařských zařízení
  • BSE zobrazení
  • EDX, WDS, EBSD analýza
  • Pouhlíkování replik
  • Nano-technologie, např. zeolity, polymerové nano-štětečky

Tyto produkty jsou jen pro výzkumné účely.


Nové uživatelské rozhraní bylo zcela zmodernizováno:

  • Kapacitní dotykový displej je pro snadné používání citlivější
  • Software uživatelského rozhraní byl významně zrevidován, používá moderní rozhraní jako na chytrých telefonech
  • Obsáhlý kontextově citlivý displej Help
  • USB rozhraní umožňuje snadnou aktualizaci software a zálohování/kopírování souborů receptů na USB disk
  • Pracovní log soubory lze exportovat přes USB port ve formátu .csv pro analýzu v Excelu apod. Log soubory obsahují datum, čas a pracovní parametry
  • 16GB flash paměť může uložit více než 1000 postupů
  • Dvojjádrový ARM procesor rychlé responsivní zobrazení

Umožňuje vstup a ukládání postupů pro více uživatelů s novou vlastností třídění postupů jednotlivých uživatelů podle nedávného použití.

Inteligentní logika systému automaticky detekuje, která vložka je vložena, a zobrazuje příslušné pracovní nastavení a ovládací prvky pro daný proces.

Systém nutí uživatele potvrdit materiál terčíku a pak automaticky zvolí příslušné parametry pro daný materiál.

Intuitivní software umožňuje rychle zadávat a ukládat pracovní data jak nejzkušenějším, tak občasným uživatelům systému. Pro pohodlné používání je v systému uložena celá řada profilů naprašování kovů nebo uhlíku, ale je samozřejmě možné vytvořit profil vlastní

Software detekuje závady v dosažení vakua v zadaném časovém intervalu a v případě úniku vakua vypne proces, aby se ochránilo čerpadlo před přehřátím.


Automatické ovládané odpařování uhlíkové tyčinky pro TEM aplikace

Opatrné odpařování umožňuje přesnou kontrolu tloušťky uhlíkové vrstvy (s monitorem tloušťky filmu nebo bez něj). Kvalita výsledného uhlíkového filmu je také zvýšena úplným potlačením “jiskření”, které bývá obvyklým jevem u méně pokročilých naprašovaček.

Pro reprodukovatelné vysoce kvalitní uhlíkové filmy doporučujeme používat tvarované uhlíkové tyčinky. Tyčinky jsou vysoké čistoty, méně náchylné k tvorbě zbytků.

Standardně jsou součástí pulsní a rampové postupy pro uhlíkovou tyčinku.


Klidné magnetronové naprašování

Naprašování je technika hojně používaná v různých aplikacích; lze vytvořit plasma a nanášet kovy při vysokém napětí, nízkém vakuu a bez automatizace. To však není vhodné pro aplikace elektronové mikroskopie, protože to může zahřát vzorek a vyústit v poškození vzorku v důsledku interakce s plasmatem. Série Q150V Plus používá nízkoteplotní vylepšené plasma magnetrony optimalizované pro tlaky turbomolekulárního čerpadla v kombinaci s nízkým proudem a ovládanou depozicí, což zajišťuje ochranu a stejnoměrné naprášení vzorku.

Q150V S Plus a Q150V ES Plus používají snadno vyměnitelné diskové terčíky s průměrem 57 mm, které jsou určeny pro naprašování oxidujících a vzácných kovů. Q150V S Plus a Q150V ES Plus jsou standardně osazeny chromovým (Cr) terčíkem. Další volitelné materiály jsou Au/Pd, Pt/Pd, Pd, Pt, Cu, Ir, W, ITO a Al.
Další materiály terčíku na vyžádání.


Pulsní čištění pro Al naprašování

Hliník (Al) rychle tvoří vrstvičku oxidu, kterou bývá těžké odstranit, ale ES a S Plus mají speciální postupy pro hliník, které redukují čas potřebný na odstranění oxidu a zabraňují nadměrnému odprašování terčíku.


Vyměnitelné zásuvné hlavy

Uživatel může konfigurovat systém jako naprašovačku, odpařovačku, nebo žárový výboj - vše v jednom systému. Hlava je po výměně automaticky detekována.


Odnímatelná komora s vestavěnou ochranou proti implozi

Odnímatelná skleněná komora umožňuje snadný přístup k základně a vršku pro snadné čištění.

Uživatelé mohou rychle vyměnit komoru v případě, že by mohlo dojít ke křížové kontaminaci citlivých vzorků

K dispozici je volitelná vysoká komora pro odpařování uhlíku, aby se zabránilo zahřívání vzorku, pro zlepšení rovnoměrnosti naprašování a pro vkládání vyšších vzorků.


Volitelné stolky

Q150V Plus má stolky splňující většinu požadavků. Všechny lze snadno vyměnit, jsou zacvakávací (bez šroubů) a jsou výškově nastavitelné (kromě rotačního planetárního stolku). Popisy naleznete na záložce Volitelné stolky


Bezpečnost

Q150V Plus splňuje klíčové průmyslové CE standardy

  • všechny elektronické komponenty jsou chráněny kryty
  • Ochrana proti implozi zabraňuje zranění uživatele v případě prasknutí komory
  • Vakuové propojení odnímá proud ze zdrojů depozice, aby se zabránilo zasažení uživatele vysokým napětím v případě otevření krytu hlavy zdroje
  • Ochrana proti přehřátí vypne napájení

 

Volitelné stolky

Standardní stolek

Rotační stolek s nastavitelnou výškou (standardně dodávaný)

  • Všechny stolky jsou "zasunovací", žádné šrouby nebo svorky = velmi snadná výměna
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
  • Standardní stolek se otáčí, ale nelze jej naklánět

Nakláněcí stolek

Volitelný stolek na vzorek: náklonný / rotační stolek

  • Úhel náklonu a výšku lze manuálně nastavit před vlastním během (úhel náklonu se nemění během cyklu)
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)

Planetární stolek RotaCota

Planetární "Rotacota" stolek

  • Dvojité otáčení = zajišťuje rovnoměrné potažení nepravidelných vzorků
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)

Stolek na podložní sklíčka

Stolek na skleněná podložní sklíčka

  • Může nést jedno nebo dvě standardní mikroskopická sklíčka
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
  • Je-li připojen FTM, je třeba použít převodovku stolku

Stolek na polovodičové desky

Stolek na polovodičové oplatky

  • Pro 4" (100mm) křemíkové oplatky
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
  • Je-li připojen FTM, je třeba použít převodovku stolku

Monitor tloušťky filmu

Monitor tloušťky vrstvy (FTM)

  • Lze použít se všemi stolky na vzorek
  • Měří a ovládá tloušťku filmu

 

 

"MINI" naprašovačka / systém žárového výboje SC 7620

 

SC7620

SC7620 je kompaktní SEM naprašovačka. V kombinaci s volitelným nástavcem odpařování uhlíkového vlákna SC7620-CF se z ní stává ideální systém pro SEM naprašování a pouhlíkování s nízkou cenou.

Navíc je SC7620 standardně vybavena funkcí žárového výboje (glow discharge), což ji činí ideální pro hydrofilizaci TEM sítěk potažených uhlíkem i pro další modifikace povrchu.

Klíčové vlastnosti

  • Jednoduchá obsluha
  • kompaktní konstrukce, malá plocha
  • Žárový výboj
  • Možnost odpařovat uhlíkové vlákno
  • Výškově nastavitelný stolek na vzorek
  • Snadná výměna naprašovacích terčíků - standardně zlato/palladium (Au/Pd)
  • Tříletá záruka

 

  • Popis
  • Obrázky

SC7620 je primárně určená pro naprašování vzorků před zkoumáním v SEM s wolframovým vláknem. Pro velmi jemné naprašování požadované pro většinu FE-SEM aplikací se požaduje vysokovakuové naprašování - vizte Q150T nebo Q300TT. Pro plně automatické naprašování pro W-SEM aplikace se, prosím, podívejte na Q150R.

Snadná obsluha

SC7620 je ideální pro uživatele s nízkým rozpočtem, kteří požadují depozici kvalitního tenkého filmu pomocí přístroje se snadnou obsluhou. Určená pro rutinní aplikace používá SC7620 základní magnetronovou hlavu s jednoduchou výměnou terčíku (standardně zlato/palladium). Hlava je sklápěcí pro snadnou manipulaci a je upevněna elektrickými bezpečnostními západkami. Panelový přepínač umožňuje změnu mezi režimem naprašování a žárovým výbojem.

Kvůli zabránění náhodnému poškození je vysokonapěťové vedení stíněno. Plasmový tok je nastavitelný pomocí hladiny vakua, které se reguluje argonovým ventilem, a s přednastaveným napětím plasmatu. Plynový dávkovač zajišťuje, že argon vstupuje do komory blízko vzniku plasmatu a tím se maximálně zvyšuje efektivita naprašování. Odvětrává se argonem.

Kliknutím obrázek zvětšíte.

Vakuová komora SC7620 s výškově nastavitelným stolkem Naprašovací hlava Volitelný nástavec odpařování uhlíkového vlákna a připojený kontrolér Odpařování vlákna a kontrolér Nástavec odpařování uhlíkového vlákna Uhlíková tyčinka

 

 

Q150R Plus - rotačním čerpadlem odčerpávaná naprašovačka kovů / uhlíku

 

Q150R Plus

Q150R Plus je vhodná pro použití na rastrovacích elektronových mikroskopech se zdrojem W/LaB6 a na stolních SEM.

Typické použití: 

Naprašování vzácných kovů s použitím Q150R S a ES Plus:

Doporučeno pro zvětšení:

  • až do 50 000 s použitím Au, Au/Pd
  • až do 100 000 s použitím Pt )volitelné)

Naprašování uhlíku z vlákna pro prvkovou analýzu pomocí Q150R E a ES Plus.

Q150R Plus je k dispozici ve třech verzích: 

  • Q150R S Plus – automatická naprašovačka vhodná pro neoxidující kovy. Dostupné tečíky zahrnují zlato (Au), zlato/palladium (Au/Pd) a platinu (Pt)
  • Q150R E Plus – automatická naprašovačka z uhlíkového vlákna pro SEM aplikace jako je EDS a WDS
  • Q150R ES Plus – kombinovaná naprašovačka kovů a uhlíku. Výměna hlav během několika sekund

 

  • Popis
  • Doplňky a volitelné stolky

Klíčové vlastnosti

  • Dosažitelné vakuum 2 × 10-3 mbar
  • Nový dotykový kapacitní displej
  • USB port pro aktualizaci a stahování log souborů
  • Lze nastavit profily pro více uživatelů jednoho zařízení
  • Nový software třídí postupy (recepty) pro jednotlivého uživatele podle nedávného použití
  • 16GB paměť dokáže uložit více než 1000 postupů
  • Nový barevný LED indikátor stavu
  • Možnost výměny stolku a hlav

Doporučené aplikace pro Q150R Plus:

  • Nízká a střední zvětšení
  • Zesílení SE signálu (1nm nebo méně)
  • Naprášení pro stolní SEM
  • Prvková analýza
  • Pokovení měděných vrstev

Tyto produkty jsou jen pro výzkumné účely.


Nové uživatelské rozhraní bylo zcela zmodernizováno:

  • Kapacitní dotykový displej je pro snadné používání citlivější
  • Software uživatelského rozhraní byl významně zrevidován, používá moderní rozhraní jako na chytrých telefonech
  • Obsáhlý kontextově citlivý displej Help
  • USB rozhraní umožňuje snadnou aktualizaci software a zálohování/kopírování souborů receptů na USB disk
  • Pracovní log soubory lze exportovat přes USB port ve formátu .csv pro analýzu v Excelu apod. Log soubory obsahují datum, čas a pracovní parametry
  • 16GB flash paměť může uložit více než 1000 postupů
  • Dvojjádrový ARM procesor rychlé responsivní zobrazení

Umožňuje vstup a ukládání postupů pro více uživatelů s novou vlastností třídění postupů jednotlivých uživatelů podle nedávného použití.

Inteligentní logika systému automaticky detekuje, která vložka je vložena, a zobrazuje příslušné pracovní nastavení a ovládací prvky pro daný proces.

Systém nutí uživatele potvrdit materiál terčíku a pak automaticky zvolí příslušné parametry pro daný materiál.

Intuitivní software umožňuje rychle zadávat a ukládat pracovní data jak nejzkušenějším, tak občasným uživatelům systému. Pro pohodlné používání je v systému uložena celá řada profilů naprašování kovů nebo uhlíku, ale je samozřejmě možné vytvořit profil vlastní

Software detekuje závady v dosažení vakua v zadaném časovém intervalu a v případě úniku vakua vypne proces, aby se ochránilo čerpadlo před přehřátím.


Automatické ovládané pulsní odpařování uhlíkového vlákna

Proces odpařování uhlíku lze přerušit pomocí volitelného monitoru tloušťky filmu, obsahujícímu křemenný krystal. Standardně je součástí modelů E a ES. Tento postup zajišťuje, že uhlík je odpařován v krátkých kontrolovaných pulsech, což má dva efekty: ochrana vzorku před ohříváním, a zajištění přesnosti monitoru tloušťky filmu. Pulsní proces také významně snižuje množství zbytků (včetně velkých fragmentů uhlíku), které jsou spojené s tradičním “flash” odpařováním. Standardně jsou součástí pulsní a rampové postupy pro volitelnou uhlíkovou tyčinku.


Klidné magnetronové naprašování

Naprašování je technika hojně používaná v různých aplikacích; lze vytvořit plasma a nanášet kovy při vysokém napětí, nízkém vakuu a bez automatizace. To však není vhodné pro aplikace elektronové mikroskopie, protože to může zahřát vzorek a vyústit v poškození vzorku v důsledku interakce s plasmatem. Série Q používá nízkoteplotní vylepšené plasma magnetrony optimalizované pro tlaky rotačního čerpadla v kombinaci s nízkým proudem a ovládanou depozicí, což zajišťuje ochranu a stejnoměrné naprášení vzorku.

Q150R S Plus a Q150R ES Plus používají snadno vyměnitelné diskové terčíky s průměrem 57 mm, které jsou určeny pro naprašování neoxidujících (vzácných) kovů – ideální pro W-SEM aplikace. Q150R S Plus a Q150R ES Plus jsou standardně osazeny zlatým (Au) terčíkem. Další volitelné materiály jsou Au/Pd, Pt/Pd, Pd, a Cu. Platinu (Pt) lze také naprašovat s volitelným nástavcem vakuové hadice pro naprašování platiny.


Vyměnitelné zásuvné hlavy

Uživatel může konfigurovat systém jako naprašovačku, odpařovačku, nebo žárový výboj - vše v jednom systému. Hlava je po výměně automaticky detekována.


Odnímatelná komora s vestavěnou ochranou proti implozi

Odnímatelná skleněná komora umožňuje snadný přístup k základně a vršku pro snadné čištění.

Uživatelé mohou rychle vyměnit komoru v případě, že by mohlo dojít ke křížové kontaminaci citlivých vzorků

K dispozici je volitelná vysoká komora pro odpařování uhlíku, aby se zabránilo zahřívání vzorku, pro zlepšení rovnoměrnosti naprašování a pro vkládání vyšších vzorků.


Volitelné stolky

Q150R Plus má stolky splňující většinu požadavků. Všechny lze snadno vyměnit, jsou zacvakávací (bez šroubů) a jsou výškově nastavitelné (kromě rotačního planetárního stolku). Popisy naleznete na záložce Doplňky a volitelné stolky


Bezpečnost

Q150R Plus splňuje klíčové průmyslové CE standardy

  • všechny elektronické komponenty jsou chráněny kryty
  • Ochrana proti implozi zabraňuje zranění uživatele v případě prasknutí komory
  • Vakuové propojení odnímá proud ze zdrojů depozice, aby se zabránilo zasažení uživatele vysokým napětím v případě otevření krytu hlavy zdroje
  • Ochrana proti přehřátí vypne napájení

 

K dispozici je řada doplňkových modulů.

Kliknutím zvětšíte.

Vložka naprašování Uhlíkové vlákno Glow discharge

Volitelné stolky

Standardní stolek

Rotační stolek (standardně dodávaný)

  • Všechny stolky jsou "zasunovací", žádné šrouby nebo svorky = velmi snadná výměna
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
  • Standardní stolek se otáčí, ale nelze jej naklánět

Nakláněcí stolek

Volitelný stolek na vzorek: náklonný / rotační stolek

  • Úhel náklonu lze manuálně nastavit před vlastním během (úhel náklonu se nemění během cyklu)
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)

Planetární stolek RotaCota

Planetární "Rotacota" stolek

  • Dvojité otáčení = zajišťuje rovnoměrné potažení nepravidelných vzorků
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)

Stolek na podložní sklíčka

Stolek na skleněná podložní sklíčka

  • Může nést jedno nebo dvě standardní mikroskopická sklíčka
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
  • Je-li připojen FTM, je třeba použít převodovku stolku

Stolek na polovodičové desky

Stolek na polovodičové oplatky

  • Pro 4" (100mm) křemíkové oplatky
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
  • Je-li připojen FTM, je třeba použít převodovku stolku

Monitor tloušťky filmu

Monitor tloušťky vrstvy (FTM)

  • Lze použít se všemi stolky na vzorek
  • Měří a ovládá tloušťku filmu

 

 

Q150T Plus - vysokorozlišovací naprašovačka kovů / uhlíku

 

Q150T Plus

Q150T Plus je optimalizovaná pro použití s turbomolekulárním čerpadlem což dává nižší vakuum až do 5 × 10-5 mbar. Tto umožňuje nanášet oxidující kovy, které mají menší velikost zrn vhodnou pro vysokorozlišovací zobrazování. Podobně nižší rozptyl dává čistší amorfní uhlíkové filmy s vysokou hustotou.

Q150T Plus je k dispozici ve třech verzích:

  • Q150T S Plus – automatická naprašovačka pro neoxidující kovy. Terčíky jsou: Cr, Ir, W, ITO, Al. Další terčíky jsou k dispozici na vyžádání
  • Q150T E Plus – automatická naprašovačka z uhlíkového vlákna pro SEM aplikace jako je EDS a WDS
    Volitelně je k dispozici možnost odpařování kovů/čištění clon.
  • Q150T ES Plus – kombinovaná naprašovačka kovů a uhlíku. Výměna hlav během několika sekund.
    Volitelně je k dispozici možnost odpařování kovů/čištění clon.

 

  • Popis
  • Doplňky a volitelné stolky

Klíčové vlastnosti

  • Nový dotykový kapacitní displej
  • USB port pro aktualizaci a stahování log souborů
  • Lze nastavit profily pro více uživatelů jednoho zařízení
  • Nový software třídí postupy (recepty) pro jednotlivého uživatele podle nedávného použití
  • 16GB paměť dokáže uložit více než 1000 postupů
  • Nový barevný LED indikátor stavu
  • Dosažitelné vakuum 5 × 10-5 mbar

Doporučené aplikace pro Q150R Plus:

  • Vysokorozlišovací zvětšení SEM
  • Ochranné platinové vrstvy pro FIB
  • Výzkum a vývoj koroze, lomu a opotřebení ochranných vrstev
  • Ochranné vrstvy lékařských zařízení
  • BSE zobrazení
  • EDX, WDS, EBSD analýza
  • Pouhlíkování replik

Tyto produkty jsou jen pro výzkumné účely.


Nové uživatelské rozhraní bylo zcela zmodernizováno:

  • Kapacitní dotykový displej je pro snadné používání citlivější
  • Software uživatelského rozhraní byl významně zrevidován, používá moderní rozhraní jako na chytrých telefonech
  • Obsáhlý kontextově citlivý displej Help
  • USB rozhraní umožňuje snadnou aktualizaci software a zálohování/kopírování souborů receptů na USB disk
  • Pracovní log soubory lze exportovat přes USB port ve formátu .csv pro analýzu v Excelu apod. Log soubory obsahují datum, čas a pracovní parametry
  • 16GB flash paměť může uložit více než 1000 postupů
  • Dvojjádrový ARM procesor rychlé responsivní zobrazení

Umožňuje vstup a ukládání postupů pro více uživatelů s novou vlastností třídění postupů jednotlivých uživatelů podle nedávného použití.

Inteligentní logika systému automaticky detekuje, která vložka je vložena, a zobrazuje příslušné pracovní nastavení a ovládací prvky pro daný proces.

Systém nutí uživatele potvrdit materiál terčíku a pak automaticky zvolí příslušné parametry pro daný materiál.

Intuitivní software umožňuje rychle zadávat a ukládat pracovní data jak nejzkušenějším, tak občasným uživatelům systému. Pro pohodlné používání je v systému uložena celá řada profilů naprašování kovů nebo uhlíku, ale je samozřejmě možné vytvořit profil vlastní

Software detekuje závady v dosažení vakua v zadaném časovém intervalu a v případě úniku vakua vypne proces, aby se ochránilo čerpadlo před přehřátím.


Automatické ovládané odpařování uhlíkové tyčinky pro TEM aplikace

Opatrné odpařování umožňuje přesnou kontrolu tloušťky uhlíkové vrstvy (s monitorem tloušťky filmu nebo bez něj). Kvalita výsledného uhlíkového filmu je také zvýšena úplným potlačením “jiskření”, které bývá obvyklým jevem u méně pokročilých naprašovaček.

Pro reprodukovatelné vysoce kvalitní uhlíkové filmy doporučujeme používat tvarované uhlíkové tyčinky. Tyčinky jsou vysoké čistoty, méně náchylné k tvorbě zbytků.

Standardně jsou součástí pulsní a rampové postupy pro uhlíkovou tyčinku.


Volitelné stolky

Q150T Plus má stolky splňující většinu požadavků. Všechny lze snadno vyměnit, jsou zacvakávací (bez šroubů) a jsou výškově nastavitelné (kromě rotačního planetárního stolku). Popisy naleznete na záložce Doplňky a volitelné stolky


Bezpečnost

Q150T Plus splňuje klíčové průmyslové CE standardy

  • všechny elektronické komponenty jsou chráněny kryty
  • Ochrana proti implozi zabraňuje zranění uživatele v případě prasknutí komory
  • Vakuové propojení odnímá proud ze zdrojů depozice, aby se zabránilo zasažení uživatele vysokým napětím v případě otevření krytu hlavy zdroje
  • Ochrana proti přehřátí vypne napájení

 

Content 1

Kliknutím zvětšíte

Snadná výměna naprašovací vložky Vložka odpařování uhlíkové tyčinky Vložka odpařování uhlíkového vlákna Vložka odpařování kovů (směrem dolů) Vložka odpařování kovů (směrem nahoru) Naprašovací vložka (standardně u T S a T ES) Volitelný nástavec žárového výboje(pro verzi T S a T ES)

Volitelné stolky

Standardní stolek

Rotační stolek (standardně dodávaný)

  • Všechny stolky jsou "zasunovací", žádné šrouby nebo svorky = velmi snadná výměna
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
  • Standardní stolek se otáčí, ale nelze jej naklánět

Nakláněcí stolek

Volitelný stolek na vzorek: náklonný / rotační stolek

  • Úhel náklonu lze manuálně nastavit před vlastním během (úhel náklonu se nemění během cyklu)
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)

Planetární stolek RotaCota

Planetární "Rotacota" stolek

  • Dvojité otáčení = zajišťuje rovnoměrné potažení nepravidelných vzorků
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)

Stolek na podložní sklíčka

Stolek na skleněná podložní sklíčka

  • Může nést jedno nebo dvě standardní mikroskopická sklíčka
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
  • Je-li připojen FTM, je třeba použít převodovku stolku

Stolek na polovodičové desky

Stolek na polovodičové oplatky

  • Pro 4" (100mm) křemíkové oplatky
  • Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
  • Je-li připojen FTM, je třeba použít převodovku stolku

Monitor tloušťky filmu

Monitor tloušťky vrstvy (FTM)

  • Lze použít se všemi stolky na vzorek
  • Měří a ovládá tloušťku filmu

 

 

Q300T D Plus - sekvenční naprašovačka s dvěma terčíky pro velikost vzorků až 150 mm

 

Q300TD Plus

Tato naprašovačka je vhodná pro vícevrstvé sekvenční naprašování dvou materiálů. Q300T D Plus má dvě nezávislé naprašovací hlavy, které umožňují sekvenční naprašování dvou kovů bez nutnosti přerušovat vakuum. Systém je plně automatický s uživatelem definovanými postupy ovládajícími sekvence odčerpávání, čas, počet naprašovacích cyklů a proudu použitého během procesu. Sekvenčně lze nanášet neomezené vrstvy s různými tloušťkami ze dvou terčíků z různých materiálů cyklickým přepínáním obou terčíků. Pokud se nepoužívají, jsou terčíky chráněny clonou proti kontaminaci.

 

  • Popis
  • Obrázky

Klíčové vlastnosti

  • Dosažitelné vakuum 5 × 10-5 mbar
  • Nový dotykový kapacitní displej
  • USB port pro aktualizaci a stahování pracovních log souborů
  • Lze nastavit profily pro více uživatelů jednoho zařízení
  • Nový software třídí postupy (recepty) pro jednotlivého uživatele podle nedávného použití
  • 16GB paměť dokáže uložit více než 1000 postupů
  • Nový barevný LED indikátor stavu
  • Možnost výměny stolků
  • Dvě naprašovací hlavy pro sekvenční naprašování nebo větší plochu depozice
  • Možnost naprašování z jedné hlavy pro malé vzorky

Doporučené aplikace pro Q300T D Plus:

  • Ideální pro vícevrstvé naprašování
  • Studium adhezivních materiálů

Tyto produkty jsou jen pro výzkumné účely.


Nové uživatelské rozhraní bylo zcela zmodernizováno:

  • Dvojjádrový ARM procesor rychlé responsivní zobrazení
  • Kapacitní dotykový displej je pro snadné používání citlivější
  • Software uživatelského rozhraní byl významně zrevidován, používá moderní rozhraní jako na chytrých telefonech
  • Obsáhlý kontextově citlivý displej Help
  • USB rozhraní umožňuje snadnou aktualizaci software a zálohování/kopírování souborů receptů na USB disk
  • Pracovní log soubory lze exportovat přes USB port ve formátu .csv pro analýzu v Excelu apod. Log soubory obsahují datum, čas a pracovní parametry
  • 16GB flash paměť může uložit více než 1000 postupů

Umožňuje vstup a ukládání postupů pro více uživatelů s novou vlastností třídění postupů jednotlivých uživatelů podle nedávného použití.

Inteligentní logika systému automaticky detekuje, která vložka je vložena, a zobrazuje příslušné pracovní nastavení a ovládací prvky pro daný proces.

Systém nutí uživatele potvrdit materiál terčíku a pak automaticky zvolí příslušné parametry pro daný materiál.

Intuitivní software umožňuje rychle zadávat a ukládat pracovní data jak nejzkušenějším, tak občasným uživatelům systému. Pro pohodlné používání je v systému uložena celá řada profilů naprašování kovů nebo uhlíku, ale je samozřejmě možné vytvořit profil vlastní

Software detekuje závady v dosažení vakua v zadaném časovém intervalu a v případě úniku vakua vypne proces, aby se ochránilo čerpadlo před přehřátím.


Odnímatelná komora s vestavěnou ochranou proti implozi

Odnímatelná skleněná komora umožňuje snadný přístup k základně a vršku pro snadné čištění.

Uživatelé mohou rychle vyměnit komoru v případě, že by mohlo dojít ke křížové kontaminaci citlivých vzorků

K dispozici je volitelná vysoká komora pro odpařování uhlíku, aby se zabránilo zahřívání vzorku, pro zlepšení rovnoměrnosti naprašování a pro vkládání vyšších vzorků.


Naprašování ze dvou hlav - pro sekvenční naprašování

Naprašovačka Q300T D Plus má dvě nezávislé naprašovací hlavy umožňující sekvenční naprašování dvou různých kovů bez nutnosti přerušovat vakuum, například tenká vrstva chromu (Cr) následovaná depozicí zlata (Au). Automatický mechanismus clony umožňuje čištění oxidujících naprašovacích terčíků a chrání druhý terčík a substrát během naprašování. Pro aplikace naprašování jednoho kovu lze zvolit jen jeden terčík.


Volitelné stolky

Q300T T Plus má stolky splňující většinu požadavků. Všechny lze snadno vyměnit, jsou zacvakávací (bez šroubů) a rychlost otáčení lze měnit v nastavených mezích. Plochý rotační stolek pro 200 mm a 150 mm polovodičové desky je standardní součástí.


Bezpečnost

Q300T D Plus splňuje klíčové průmyslové CE standardy

  • všechny elektronické komponenty jsou chráněny kryty
  • Ochrana proti implozi zabraňuje zranění uživatele v případě prasknutí komory
  • Vakuové propojení odnímá proud ze zdrojů depozice, aby se zabránilo zasažení uživatele vysokým napětím v případě otevření krytu hlavy zdroje
  • Ochrana proti přehřátí vypne napájení

Ovládání vakua

Vysokovakuové turbo odčerpávání dovoluje naprašovat celou řadu oxidujících a neoxidujících kovů pro aplikace elektronové mikroskopie na tenkém filmu. Automatické ovládání vakua, které lze předem naprogramovat, aby vyhovovalo procesu a materiálu, tak odstraní nutnost manuální intervence nebo ovládání.


Klidné magnetronové naprašování

Naprašování je technika hojně používaná v různých aplikacích; lze vytvořit plasma a nanášet kovy při vysokém napětí, nízkém vakuu a bez automatizace. To však není vhodné pro aplikace elektronové mikroskopie, protože to může zahřát vzorek a vyústit v poškození vzorku v důsledku interakce s plasmatem. Série Q300 Plus používá nízkoteplotní vylepšené plasma magnetrony optimalizované pro tlaky turbomolekulárního čerpadla v kombinaci s nízkým proudem a ovládanou depozicí, což zajišťuje ochranu a stejnoměrné naprášení vzorku.

Q300T D Plus používá snadno vyměnitelné diskové terčíky s průměrem 57 mm, které jsou určeny pro naprašování oxidujících a vzácných kovů. Q300T D Plus je standardně osazen zlatým (Au) a chromovým (Cr) terčíkem.


Pulsní čištění pro Al naprašování

Hliník (Al) rychle tvoří vrstvičku oxidu, kterou bývá těžké odstranit, ale Q300T D Plus má speciální postupy pro hliník, které redukují čas potřebný na odstranění oxidu a zabraňují nadměrnému odprašování terčíku.


Monitor tloušťky filmu

Q300T D Plus může být osazena volitelným duálním monitorem tloušťky filmu (FTM), který měří tloušťku vrstvy na dvou křemenných krystalech v komoře. Tloušťku měřenou monitorem lze korelovat s tloušťkou na substrátu pomocí matematické operace vestavěné v software; to uživateli umožňuje ovládat tloušťku materiálu uloženého na substrátu. Q300T D Plus dokáže například automaticaky přerušit naprašovací profil, jakmile je dosažena požadovaná tloušťka. Proces lze také přerušit uplynutím zadaného času.

 

Obrázky

Kliknutím obrázek zvětšíte.

 

Dvojitá hlava Q300T D Plus Standardní stolek Rota-cota stolek Stolek na sklíčka

 

 

Q300T T Plus - naprašovačka se třemi terčíky pro vzorky s průměrem až 200 mm

 

Q300TT Plus

Q300T T Plus je turbomolekulárním čerpadlem odčerpávaný systém s velkou komorou, ideálně vhodný pro naprašování jednoho velkého vzorku do průměru až 200 mm nebo pro více menších vzorků s podobným průměrem. Ideální pro aplikace s tenkým filmem a  SEM/FE-SEM. Systém je vybaven třemi naprašovacími hlavami k zajištění rovnoměrné depozice na jeden velký, nebo více malých vzorků.

Poznámka:
Pozor, tato naprašovačka není vhodná pro sekvenční naprašování tří různých kovů z každé hlavy - sekvenční naprašování lze použít na systému Q300T D Plus.

 

  • Popis
  • Obrázky

Klíčové vlastnosti

  • Dosažitelné vakuum 1 × 10-6 mbar nebo méně
  • Nový dotykový kapacitní displej
  • USB port pro aktualizaci a stahování pracovních log souborů
  • Lze nastavit profily pro více uživatelů jednoho zařízení
  • Nový software třídí postupy (recepty) pro jednotlivého uživatele podle nedávného použití
  • 16GB paměť dokáže uložit více než 1000 postupů
  • 16GB of memory can store more than 1000 recipes
  • Nový barevný LED indikátor stavu
  • Možnost výměny stolků
  • Tři naprašovací hlavy pro větší plochu depozice

Doporučené aplikace pro Q300T T Plus:

  • Kontrola polovodičových desek
  • Příprava série vzorků pro SEM

Tyto produkty jsou jen pro výzkumné účely.


Odnímatelná komora s vestavěnou ochranou proti implozi

Odnímatelná skleněná komora umožňuje snadný přístup k základně a vršku pro snadné čištění.

Uživatelé mohou rychle vyměnit komoru v případě, že by mohlo dojít ke křížové kontaminaci citlivých vzorků

K dispozici je volitelná vysoká komora pro odpařování uhlíku, aby se zabránilo zahřívání vzorku, pro zlepšení rovnoměrnosti naprašování a pro vkládání vyšších vzorků.


Systém naprašování ze tří terčíků

Naprašovačka Q300T T Plus je osazena třemi samostatnými naprašovacími hlavami, aby se zajistila rovnoměrná depozice buď jednotlivých velkých vzorků, nebo série menších vzorků. Pro ekonomické naprášení malých vzorků lze zvolit naprašování z jednoho terčíku. Je to ideální naprašovačka pro přípravu velkých vzorků pro zkoumání pomocí SEM, FEG-SEM. Aby se zajistila rovnoměrná depozice, je naprašovačka Q300T T Plus osazena rotačním stolkem a třemi individuálními magnetronovými nástavci terčíků, což zvyšuje účinnost procesu při nízkém napětí.


Volitelné stolky

Q300T T Plus má stolky splňující většinu požadavků. Všechny lze snadno vyměnit, jsou zacvakávací (bez šroubů) a rychlost otáčení lze měnit v nastavených mezích. Plochý rotační stolek pro 200 mm a 150 mm polovodičové desky je standardní součástí.


Bezpečnost

Q300T T Plus splňuje klíčové průmyslové CE standardy

  • všechny elektronické komponenty jsou chráněny kryty
  • Ochrana proti implozi zabraňuje zranění uživatele v případě prasknutí komory
  • Vakuové propojení odnímá proud ze zdrojů depozice, aby se zabránilo zasažení uživatele vysokým napětím v případě otevření krytu hlavy zdroje
  • Ochrana proti přehřátí vypne napájení

Ovládání vakua

Vysokovakuové turbo odčerpávání dovoluje naprašovat celou řadu oxidujících a neoxidujících kovů pro aplikace elektronové mikroskopie na tenkém filmu. Automatické ovládání vakua, které lze předem naprogramovat, aby vyhovovalo procesu a materiálu, tak odstraní nutnost manuální intervence nebo ovládání.


Klidné magnetronové naprašování

Naprašování je technika hojně používaná v různých aplikacích; lze vytvořit plasma a nanášet kovy při vysokém napětí, nízkém vakuu a bez automatizace. To však není vhodné pro aplikace elektronové mikroskopie, protože to může zahřát vzorek a vyústit v poškození vzorku v důsledku interakce s plasmatem. Série Q300 Plus používá nízkoteplotní vylepšené plasma magnetrony optimalizované pro tlaky turbomolekulárního čerpadla v kombinaci s nízkým proudem a ovládanou depozicí, což zajišťuje ochranu a stejnoměrné naprášení vzorku.

Q300T T Plus používá snadno vyměnitelné diskové terčíky s průměrem 57 mm, které jsou určeny pro naprašování oxidujících a vzácných kovů. Q300T T Plus je standardně osazen chromovým (Cr) terčíkem. Další volitelné materiály jsou Au/Pd, Pt/Pd, Pd, Pt, Cu, Ir, W, ITO, Al, atd.


Pulsní čištění pro Al naprašování

Hliník (Al) rychle tvoří vrstvičku oxidu, kterou bývá těžké odstranit, ale Q300T T Plus má speciální postupy pro hliník, které redukují čas potřebný na odstranění oxidu a zabraňují nadměrnému odprašování terčíku.


Monitor tloušťky filmu

Q300T T Plus může být osazena volitelným monitorem tloušťky filmu (FTM), který měří tloušťku na křemenném krystalu v komoře, aby se mohla ovládat tloušťka depozice materiálu na vzorku.

 

Obrázky

Kliknutím zvětšíte.

Q300T T Plus Trojitá hlava Stolek na oplatky Rota-cota stolek Stolek na mikroskopická sklíčka

 

 


Domovská stránka Quorum Technologies www.quorumtech.com

nahoru Nahoru