Logo Quorum Technologies Logo Techoorg Linda Logo PHI Logo Pyser Logo spi Logo Zeta Logo Quantifoil

Domů

Novinky

Kontakty

Poptávkový formulář

Domů › Příprava vzorků pro SEM/TEM › Příprava SEM vzorků iontovým svazkem

 

Logo Linda

Zařízení pro přípravu vzorků TECHNOORG LINDA

Systém pro přípravu SEM vzorků


SC-2000

 

SEMPrep2

Moderní SEM vyšetřování vyžaduje vysoce kvalitní SEM vzorky bez artefaktů s minimálním poškozením jejich povrchu. Nový systém přípravy vzorků Technoorg SC-2000 SEM postavený na osvědčené technice vymílání iontovým svazkem dává povrch vzorku, který zcela splňuje tyto požadavky.

 

 

 

  • Popis
  • Specifikace

Model SC-2000 je vybaven iontovým zdrojem jak s vysokou, tak nízkou energií. Rychlé šikmé řezání iontovým svazkem s vysokou energií následované jemným čištěním povrchu iontovým svazkem s nízkou energií dává SEM vzorky vhodné pro analýzu poruch polovodičů a další analytické účely. Systém také poskytuje řešení založené na iontovém frézování pro zlepšování a čištění mechanicky leštěných SEM vzorků a přípravu bez poškození ploch pro techniku EBSD.

  • Příprava řezů vzorků šikmým řezáním v 90°, 45° a 30° pomocí různých držáků vzorku
  • Finální leštění a čištění tradičních SEM a EBSD vzorků
  • Systém Load-lock pro rychlou a jednoduchou výměnu vzorků
  • Vysoká energie iontového děla pro rychlé vymílání
  • Volitelné iontové dělo s ultra vysokou energií speciálně doporučované pro vymílání obzvlášť tvrdých materiálů nebo pro extrémně rychlé vymílání
  • Nízká energie iontového děla pro jemné leštění a čištění povrchu
  • Automatické nastavení parametrů a činnost
  • Otáčení a oscilace vzorku
  • Příprava vzorků s vysoce přesným polohováním
  • Monitorování procesu vymílání v reálném čase pomocí vysokorozlišovací CCD kamery a TFT monitoru

 

Iontové zdroje:

dvě iontová děla:

fokusované iontové dělo s vysokou energií až do 10keV
nebo volitelně
fokusované iontové dělo s ultra vysokou energií až do 20keV
fokusované iontové dělo a nízkou energií od 100 eV do 2 keV

kontinuálně nastavitelná a nezávislá energie vymílání

proudová hustota svazku:

max. 100 mA/cm2 pro zdroj s vysokou energií
max. 150 mA/cm2 pro zdroj s ultra-vysokou energií
max. 10 mA/cm2 pro zdroj s nízkou energií

rychlost:

150 µm/hod na Si při 30° pro zdroj s vysokou energií
530 µm/hod na Si při 30° pro zdroj s ultra-vysokou energi
28 µm/hod na Si při 30° pro zdroj s nízkou energií

Stolek vzorku:

velikost vzorku

držák vzorku pro šikmé vymílání (dostupné s 30°, 45°, 90° nakloněnou platformou)
pro 30°, 45° držáky: max. 20mm(d)×16mm(š)×7mm(v)
pro 90° držáky: max. 20mm(d)×16mm(š)×5,5mm(v)

držák vzorku pro čištění povrchu (EBSD) s použitím 3 různých hlav:
plochý typ hlavy: max. průměr 36mm × 0 - 5,5mm
standardní typ: max. průměr 26mm × 3 - 14mm
vydutý typ: max. průměr 24mm × 13 - 19mm

polohování vzorku:

vysoce přesné polohování pro řezání: přesnost 2 µm

náklon vzorku:

0° až 30° s přírůstkem 0,1°

rotace vzorku:

rotace v rovině, 360° (dostupné pouze pro držák vzorků pro povrchové čištění)

oscilace vzorku:

rovinná oscilace v rozsahu ± 10° do ±40° v 10 krocích

Clazení vzorku:

volitelné chlazení kapalným dusíkem pro přípravu vzorků citlivých na teplo

Vakuový systém: 

bezolejová diafragmová a turbomolekulární čerpadla s kombinovaným měřidlem vakua (Pirani/Penning)

Systém dodávání plynu:

Argon s čistotou 99.999%
vysoce přesné ovládání průtoku procesního plynu motorizovaným jehlovým ventilem

Zobrazovací systém:

vysokorozlišovací CMOS kamera s manuálním zoomem se zvětšením 50-400×

Počítačové ovládání:

snadno použitelné grafické uživatelské rozhraní s volitelným modulem zpracování obrazu
automatické nastavení iontového zdroje, parametrů vymílání a ovládání činnosti

 


Domovská stránka TECHNOORG LINDA www.technoorg.hu

nahoru Nahoru