Logo Quorum Technologies Logo Techoorg Linda Logo PHI Logo Pyser Logo spi Logo Zeta Logo Quantifoil

Domů

Ochrana osobních údajů

Novinky

Kontakty

Poptávkový formulář

 

Logo Linda

 

Zařízení pro přípravu vzorků TECHNOORG LINDA


Zařízení pro přípravu TEM vzorků

 

  • Gentlemill
  • Popis
  • Specifikace

Gentle Mill

 

IV8

Gentle Mill je model s unikátní konstrukcí doleštění předem připravených TEM a/nebo FIB vzorků. Patentovaný iontový zdroj s nízkou energií a speciální držák vzorku pomáhá dosáhnout vynikající kvalitu pro jakékoli požadavky.

Klíčové vlastnosti:

  • Automatická činnost
  • Finální krok pro perfektní výsledek
  • Ochranná přenosová kapsle pro ochranu citlivých vzorků
  • Speciální adaptér pro mikroskopy Hitachi
  • Online monitoring a podpora

Série Gentle Mill firmy Technoorg je určena pro finální leštění, snadné čištění a zlepšení vzorků dříve ošetřených standardním vysokoenergetickým iontovým vymíláním nebo FIB kolonou. Modely Gentle Mill se doporučují pro uživatele, kteří chtějí připravit XTEM, HRTEM nebo STEM vzorky nejlepší možné kvality bez artefaktů a téměř nepoškozené. Tyto iontové mlýny jsou vhodné i pro rychlé ztenčování dolíčkovatých nebo tenkých (‹25 µm) planárních mechanicky leštěných vzorků.

Iontový zdroj s nízkou energií
Pracovní stanice s iontovým svazkem Gentle Mill pracují s vynikající patentovanou horkou katodou nízkoenergetického iontového zdroje. Extrémně nízká energie iontového svazku zajišťuje minimalizaci poškození povrchu a iontovým svazkem vyvolanou amorfizaci. Výjimečná konstrukce iontového zdroje umožňuje vysokou hustotu proudu svazku. Všechny parametry iontového děla včetně urychlovacího napětí a proudu katody jsou řízeny automaticky digitální zpětnou vazbou, ale v průběhu procesu přípravy vzorku je lze kdykoli ručně změnit. Počáteční hodnoty parametrů iontového zdroje se nastavují automaticky nebo ručně, a jsou průběžně zobrazovány na obrazovce počítače.

Příprava vzorků bez artefaktů
Exkluzivní schopnost Gentle Mill produkovat nepoškozené vzorky při ozáření ionty s nízkou energií poskytuje jedinečnou příležitost ke studiu reálných nanostruktur v syntetických a přírodních materiálech ve všech oborech technických věd a výzkumu materiálů.

Automatizovaný provoz
Modely Gentle Mill třetí generace jsou plně řízeny počítačem s využitím snadno použitelného grafického rozhraní. Všechny parametry vymílání včetně nastavení iontového zdroje, ovládání průtoku plynu, nastavení dalších parametrů, jako je pohyb a náklon vzorků, detekce perforace lze uložit, nebo předem naprogramovat v libovolném počtu kroků. Tato plně automatická funkce umožňuje vytvářet vysoce kvalitní vzorky s minimálními zásahy uživatele. Gentle Mill 3 je dodáván se softwarem rozšíření pro in-line podporu, která umožňuje okamžité zjištění chyb a eliminaci problémů přes internet.

Iontový zdroj s nízkou energií (jeden fixní typ)

  • energie iontů: 100 - 2000 eV, kontinuálně nastavitelné
  • proudová hustota iontů: max. 10 mA/cm2
  • proud svazku: 7 - 80 mA, kontinuálně nastavitelné
  • průměr svazku: 750 - 1200 µm (FWHM)
  • Ručně (mod. IV5) nebo elektronicky optimalizovaný průtok pracovního plynu (mod. IV8)
  • rychlost:28 µm/h na c-Si při energii 2000 eV a 30° úhlu dopadu svazku

Stolek vzorku:

  • úhel vymílání: 0° - 40°, elektronicky nastavitelné v přírůstcích 0,1°
  • Počítačem řízená rotace a oscilace vzorku v rovině (rozsah +10° až +60°, elektronicky nastavitelná v přírůstcích 10°)
  • Mimořádný rozsah přijatelné tloušťky TEM vzorků (30 - 200 mm)

Manipulace se vzorkem:

  • systém load-lock pro rychlou výměnu vzorku
  • plně mechanický systém vkládání vzorků bez lepidla
  • speciálně konstruované titanové rámečky a technologie zapouzdření pro XTEM vzorky

Vakuový systém: 

vakuový systém Pfeiffer s bezolejovým diafragmovým a turbomolekulárním čerpadlem s kompaktním celorozsahovým měřidlem vakua Pirani/Penning

Systém dodávání plynu

  • Argon s čistotou 99.999% s absolutním tlakem 1,3 - 1,7 barů
  • regulátor tlaku pro vzácné plyny s elektronickým sledováním výstupního tlaku
  • vysoce přesné ovládání průtoku procesního plynu s motorizovaným jehlovým ventilem pro mod. IV8

Zobrazovací systém:

  • CMOS kamera pro vizuální kontrolu a dohled nad vymíláním/přerušením
  • vysokorozlišovací barevná CMOS kamera
  • manuální zoom se zvětšením 50-400

Počítačové ovládání:

  • vestavěný průmyslový PC
  • snadno použitelné grafické uživatelské rozhraní s modulem zpracování obrazu
  • snadné ovládání všech parametrů kliknutím a tažením myší
  • vysoce automatický pracovní režim s minimálními zásahy obsluhy (mod. IV8)
  • Předem naprogramované nebo manuálně nastavené cykly vymílání a leštění
  • Automatické přerušení: optické přerušení procesu vymílání podporované modulem analýzy obrazu (detekce perforace vzorku nebo sledování topografie povrchu

Modely

  • Gentle Mill (mod. IV5) – standardní model
  • Gentle Mill 3 (mod. IV8) – plně automatický model
  • Gentle Mill Hi a Gentle Mill 3 Hi – modely kompatibilní s Hitachi FIB/STEM systémy

 

 

  • UniMill
  • Popis
  • Specifikace

Plně automatický systém iontového ztenčování pro přípravu TEM/XTEM vzorků UniMill model IV7

 

IV7

Nový model iontového vymílání Technoorg IV7 je určen pro extrémně rychlé zpracování kvalitních TEM / XTEM vzorků s bezkonkurenčně vysokou rychlostí ztenčování. Konstrukce přístroje umožňuje jak rychlé vymílání zdrojem iontů ušlechtilého plynu s ultra vysokou energií, tak finální leštění a čištění patentovaným nízkoenergetickým iontovým dělem.

Nejmodernější iontové zdroje

IV7 UniMill obsahuje dva nezávisle řízené iontové zdroje: jeden s fokusovaným iontovým dělem s vysokou nebo ultra vysokou energií a jeden s fokusovaným iontovým dělem s nízkou energií.

Iontové zdroje s vysokou a ultra vysokou energií

Tyto zdroje Technoorg poskytují nejvyšší rychlost vymílání na trhu. Iontové dělo pracující až při 10 keV je speciálně navržen pro přípravu TEM vzorků materiálů, které mají velmi nízkou rychlost vymílání.

Iontové zdroje s nízkou energií

Výjimečná konstrukce iontového zdroje umožňuje dosáhnout vysokou proudovou hustotu svazku v celém pracovním rozsahu. Svazek s extrémně nízkou energií iontů vzácného plynu zajišťuje minimalizaci poškození povrchu a amorfizaci vyvolanou iontovým svazkem.

Ovládání iontového zdroje

Všechny parametry iontového děla včetně urychlovacího napětí a proudu svazku jsou automaticky řízeny digitální zpětnou vazbou, ale vždy je lze v průběhu procesu přípravy vzorku ručně změnit. Počáteční hodnoty parametrů iontového zdroje se nastavují automaticky nebo ručně, a jsou nepřetržitě sledovány a zobrazovány na počítači.

Automatizovaný provoz

Model IV7 UniMill Technoorg je vybaven plně počítačovým ovládáním využívající snadno použitelné grafické rozhraní. Všechny parametry včetně napětí elektrod, průtoku pracovního plynu, posunu/náklonu vzorku a další parametry načasování procesu a detekce perforace lze uložit nebo předem naprogramovat v libovolném počtu kroků. Tato plně automatizované funkce IV7 umožňuje produkovat vysoce kvalitní vzorky s minimálním zásahem uživatele.

Volitelně chlazení kapalným dusíkem

ON-LINE sledování a podpora

UniMill je dodáván se softwarovým rozšířením pro on-line technickou podporu, která umožňuje okamžité zjištění chyb a eliminaci problémů přes internet.

Iontové zdroje

zdroj s vysokou energií

  • energie iontů: 2 – 10 keV, kontinuálně nastavitelné
  • proudová hustota iontů: až 100 mA/cm2
  • proud svazku: až 140 µA
  • průměr svazku: 200 - 500 µm (FWHM)
  • rychlost vymílání: 180 µm/hod na c-Si při energii 10 keV a 30° úhlu dopadu svazku

zdroj s ultra vysokou energií

  • energie iontů: až 16 keV, kontinuálně nastavitelné
  • proudová hustota iontů: >150 mA/cm2
  • proud svazku: 250 µA
  • průměr svazku: 100 - 300 µm (FWHM)
  • rychlost vymílání: 900 µm/h na c-Si při energii 16 keV a 30° úhlu dopadu svazku

zdroj s nízkou energií

  • energie iontů: 100 eV - 2 keV, kontinuálně nastavitelné
  • proudová hustota iontů: max. 10 mA/cm2
  • proud svazku: 7 - 80 µA
  • průměr svazku: 750 - 1200 µm (FWHM)
  • rychlost vymílání: 28 µm/hod na c-Si při energii 2 keV a 30° úhlu dopadu svazku

Stolek vzorku

  • úhel vymílání: 0° až 45°, elektronicky nastavitelné v přírůstcích 0,1°
  • Počítačem řízená rotace a oscilace vzorku v rovině (rozsah 0° až 120°, elektronicky nastavitelná v přírůstcích 10°)
  • Široký rozsah tloušťky přijatých TEM vzorků (30 - 200 µm)

Zobrazovací systém

  • CCD kamera pro plnou vizuální kontrolu a dohled nad vymíláním/přerušením
  • vysokorozlišovací barevná CCD kamera (5 Mpixel)
  • manuální zoom se zvětšením 50-400

Počítačové ovládání

  • vestavěný průmyslový PC
  • snadno použitelné grafické uživatelské rozhraní s modulem zpracování obrazu
  • na uživateli nezávislé nastavení iontového zdroje včetně regulace průtoku plynu motorizovaným jehlovým ventilem
  • Předem naprogramované předpisy pro automatické nastavení mechanických a elektronických parametrů vymílání (manuální nastavení je možné)
  • automatické vkládání vzorku
  • automatické přerušení: optické přerušení procesu vymílání podporované modulem analýzy obrazu (detekce perforace vzorku nebo sledování topografie povrchu

Systém dodávání plynu

  • Argon s čistotou 99.999% s absolutním tlakem 1,3 - 1,7 barů
  • regulátor tlaku pro vzácné plyny s elektronickým sledováním výstupního tlaku
  • vysoce přesné ovládání průtoku procesního plynu s motorizovaným jehlovým ventilem

Vakuový systém

  • vakuový systém Pfeiffer s bezolejovým diafragmovým a turbomolekulárním čerpadlem s kompaktním celorozsahovým měřidlem vakua Pirani/Penning

Domovská stránka TECHNOORG LINDA www.technoorg.hu

nahoru Nahoru