Logo Quorum Technologies Logo Techoorg Linda Logo PHI Logo Pyser Logo spi Logo Zeta Logo Quantifoil Logo Sterlitech

Domů

Ochrana osobních údajů

Novinky

Kontakty

Poptávkový formulář

 

logo ZETA

 

Optické profilometry ZETA


Systémy s manuálním vkládáním vzorku

 

Optické profilometry Zeta 3D nabízejí vysoce kvalitní metrologii a zobrazení při bezkontaktním snímání tenkých povrchů.

Systémy Zeta 3D poskytují rychlé, trojrozměrné zobrazení v přirozených barvách během méně než 30 vteřin s velkým dynamickým rozsahem, v rozsahu jednotek nanometrů včetně velikosti zorného pole.

Díky patentované technologii ZDot™ se dosahuje výjimečné přesnosti při stanovení výškových parametrů.

Metrologické systémy Zeta 3D mají vyšší propustnost světla než konfokální mikroskopy, interferometry s bílým světlem nebo ostatní optické profilometry.

Díky těmto vlastnostem a konstrukci zařízení jsou profilometry Zeta 3D odolné vibracím a nezávislé na náklonu vzorku.

 

Přístrojové vybavení

 

  • ZETA-20
  • ZETA-300
  • ZETA-500
  • ZETA-600
  • ZETA Scan

 

ZETA - 20™

 

ZETA-20™ je cenově atraktivní, plně integrovaný optický profilometr vhodný pro přesné trojrozměrné zobrazení a metrologii. Díky vlastní technologii Z-Dot™ umožňuje rychlé povrchové měření i takových vzorků, kde ostatní obdobné techniky selhávají.

Základní vlastnosti

ZETA-20 může být vybavena různými moderními zobrazovacími technikami:

  • ZDot™ je patentovaná technika pro 3D zobrazení a je součástí všech profilometrů Zeta. Technologie ZDot™ se vypořádá i s povrchově nejobtížnějšími vzorky.

  • ZIC je ideální pro analýzu povrchů vzorků v rozsahu nanometrů.

  • ZSI tento ychlostní interferometr poskytuje vertikální rozlišení na úrovni Angstromů

  • ZX5 tento vertiální rastrovaní interferometr je ideální k měření nanometrových výšek v širokém zormén poli.

  • ZFT reflektometrie založená na měření tloušťky tenkého filmu

 

 

Zeta 20

 

pdf Prospekt ke stažení


ZETA-20 s otočnou hlavou

  • Umožňuje zobrazení velkých a těžkých vzorků, které nelze snadno otáčet.
  • Otočná hlava se pohybuje po přesných drážkách z vertikální do horizontální polohy.
  • Hlavu lze opakovaně polohovat na jakýkoli požadovaný úhel pomocí úhlého měřítka na nosné desce.
Otočná hlava Zeta-20

 

pdf Prospekt ke stažení

 

 

ZETA - 300

 

ZETA-300 obsahuje integrovanou akustickou izolaci, která redukuje vliv zvuku a proudění vzduchu na měření vzorků.
Při sběru dat na strukturách, které jsou menší než 1µm na výšku, mohou i malé vibrace způsobené zvukovými a vzdušnými poruchami ovlivňovat výsledky.

Ve spojení s volitelným izolačním stolem nabízí ZETA-300 přesnost a opakovatelnost nesrovnatelnou s jinými optickými profilometry.

 

Ve výzkumu lze často těžko předpovídat, jaký typ povrchu bude potřeba měřit. Proto má ZETA-300™ modulární konstrukci, která umožňuje širší škálu volitelného hardware měření i softwarových balíčků:

  • ZFT: Spektrometr tloušťky filmu

  • ZIC: Nomarski pro drsnost v řádu nanometrů

  • ZX5: Hybridní interferometr

  • Piezo stolek pro 2 nm Z-rozlišení

  • Nakláněcí stolky, držáky vzorků

  • Software automatické detekce / měření objektu

  • Automatický výpočet povrchové plochy, atatistická analýza

 

ZETA-300

 

pdf Prospekt ke stažení

 

 

ZETA - 500

 

ZETA-500 je 3D optický profilometr pro polovodičové desky 300 mm. Kombinuje unikátní charakteristiky technologie více-režimového měření ZETA Instruments se zvýšenou kapacitou vzorků.

ZETA-500

 

pdf Prospekt ke stažení

 

 

ZETA - 600

 

ZETA-600 je moderní 3D optický profilometr, který má všechny výhody předchozích modelů, ale se snadným vrchním přístupem, takže ho lze použít pro měření velkých vzorků.

  • Pro vzorky s velikostí až 510 mm × 610 mm
  • Kamera nastavitelná na velikost a rozlišení
  • Více-režimové měření
  • Systém izolace vibrací
ZETA-600

 

 

ZETA Scan

 

Kontrola defektů skleněných desek, nerovných filmů na polovodičových deskách, substrátů disků / médií

Určeno pro transparentní, tenké substráty, nerovné povrchy

 

Manuálně nebo automaticky

  • ZetaScan: Manuální systém vkládání

  • ZetaScan-AUTO: Systém s manipulátorem 150mm nebo 200mm otevřené kazety na polovodičové desky

  • ZetaScan-EFEM: Automatický systém s 300mm EFEM/FOUP

 

Vlastnosti

  • 300mm a 200mm s duálním robotickým ramenem

  • K dispozici volitelná svorka hrany

  • Jiné typy vzorků na manuálním systému

  • Integrovaná izolace vibrací

 

Série ZETAScan

 

pdf Prospekt ke stažení

 

 


Domovská stránka ZETA www.zeta-inst.com

nahoru Nahoru