Logo Quorum Technologies Logo Techoorg Linda Logo PHI Logo Pyser Logo spi Logo Zeta Logo Quantifoil

Domů

Ochrana osobních údajů

Novinky

Kontakty

Poptávkový formulář

 

logo ZETA

 

Optické profilometry ZETA


Systémy s manuálním vkládáním vzorku

 

Optické profilometry Zeta 3D nabízejí vysoce kvalitní metrologii a zobrazení při bezkontaktním snímání tenkých povrchů.

Systémy Zeta 3D poskytují rychlé, trojrozměrné zobrazení v přirozených barvách během méně než 30 vteřin s velkým dynamickým rozsahem, v rozsahu jednotek nanometrů včetně velikosti zorného pole.

Díky patentované technologii ZDot™ se dosahuje výjimečné přesnosti při stanovení výškových parametrů.

Metrologické systémy Zeta 3D mají vyšší propustnost světla než konfokální mikroskopy, interferometry s bílým světlem nebo ostatní optické profilometry.

Díky těmto vlastnostem a konstrukci zařízení jsou profilometry Zeta 3D odolné vibracím a nezávislé na náklonu vzorku.

 

Přístrojové vybavení

 

  • ZETA-20
  • ZETA-300
  • ZETA-500
  • ZETA-600
  • ZETA Scan

 

ZETA - 20™

 

ZETA-20™ je cenově atraktivní, plně integrovaný optický profilometr vhodný pro přesné trojrozměrné zobrazení a metrologii. Díky vlastní technologii Z-Dot™ umožňuje rychlé povrchové měření i takových vzorků, kde ostatní obdobné techniky selhávají.

Základní vlastnosti

ZETA-20 může být vybavena různými moderními zobrazovacími technikami:

  • ZDot™ je patentovaná technika pro 3D zobrazení a je součástí všech profilometrů Zeta. Technologie ZDot™ se vypořádá i s povrchově nejobtížnějšími vzorky.

  • ZIC je ideální pro analýzu povrchů vzorků v rozsahu nanometrů.

  • ZSI tento ychlostní interferometr poskytuje vertikální rozlišení na úrovni Angstromů

  • ZX5 tento vertiální rastrovaní interferometr je ideální k měření nanometrových výšek v širokém zormén poli.

  • ZFT reflektometrie založená na měření tloušťky tenkého filmu

 

 

Zeta 20

 

pdf Prospekt ke stažení


ZETA-20 s otočnou hlavou

  • Umožňuje zobrazení velkých a těžkých vzorků, které nelze snadno otáčet.
  • Otočná hlava se pohybuje po přesných drážkách z vertikální do horizontální polohy.
  • Hlavu lze opakovaně polohovat na jakýkoli požadovaný úhel pomocí úhlého měřítka na nosné desce.
Otočná hlava Zeta-20

 

pdf Prospekt ke stažení

 

 

ZETA - 300

 

ZETA-300 obsahuje integrovanou akustickou izolaci, která redukuje vliv zvuku a proudění vzduchu na měření vzorků.
Při sběru dat na strukturách, které jsou menší než 1µm na výšku, mohou i malé vibrace způsobené zvukovými a vzdušnými poruchami ovlivňovat výsledky.

Ve spojení s volitelným izolačním stolem nabízí ZETA-300 přesnost a opakovatelnost nesrovnatelnou s jinými optickými profilometry.

 

Ve výzkumu lze často těžko předpovídat, jaký typ povrchu bude potřeba měřit. Proto má ZETA-300™ modulární konstrukci, která umožňuje širší škálu volitelného hardware měření i softwarových balíčků:

  • ZFT: Spektrometr tloušťky filmu

  • ZIC: Nomarski pro drsnost v řádu nanometrů

  • ZX5: Hybridní interferometr

  • Piezo stolek pro 2 nm Z-rozlišení

  • Nakláněcí stolky, držáky vzorků

  • Software automatické detekce / měření objektu

  • Automatický výpočet povrchové plochy, atatistická analýza

 

ZETA-300

 

pdf Prospekt ke stažení

 

 

ZETA - 500

 

ZETA-500 je 3D optický profilometr pro polovodičové desky 300 mm. Kombinuje unikátní charakteristiky technologie více-režimového měření ZETA Instruments se zvýšenou kapacitou vzorků.

ZETA-500

 

pdf Prospekt ke stažení

 

 

ZETA - 600

 

ZETA-600 je moderní 3D optický profilometr, který má všechny výhody předchozích modelů, ale se snadným vrchním přístupem, takže ho lze použít pro měření velkých vzorků.

  • Pro vzorky s velikostí až 510 mm × 610 mm
  • Kamera nastavitelná na velikost a rozlišení
  • Více-režimové měření
  • Systém izolace vibrací
ZETA-600

 

 

ZETA Scan

 

Kontrola defektů skleněných desek, nerovných filmů na polovodičových deskách, substrátů disků / médií

Určeno pro transparentní, tenké substráty, nerovné povrchy

 

Manuálně nebo automaticky

  • ZetaScan: Manuální systém vkládání

  • ZetaScan-AUTO: Systém s manipulátorem 150mm nebo 200mm otevřené kazety na polovodičové desky

  • ZetaScan-EFEM: Automatický systém s 300mm EFEM/FOUP

 

Vlastnosti

  • 300mm a 200mm s duálním robotickým ramenem

  • K dispozici volitelná svorka hrany

  • Jiné typy vzorků na manuálním systému

  • Integrovaná izolace vibrací

 

Série ZETAScan

 

pdf Prospekt ke stažení

 

 


Domovská stránka ZETA www.zeta-inst.com

nahoru Nahoru